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汽化過氧化氫滅菌的優點： 
>低溫，對溫度敏感的物料的滅菌，具有廣譜殺菌作用； 
>常壓，不需要對滅菌器具設計為壓力容器； 
>汽化過氧化氫具有良好的物料兼容性，對不銹鋼、鋁、玻璃、聚碳酸脂、大部分的醫用硅樹脂等均具有良好的兼容性； 
>易分解，無有害殘留，*終分解為水和氧氣。 

主要功能： 
>西門子可編程控制器（PLC）自動控制設備各階段的運行； 
>送、排風系統均采用H14液槽密封高效過濾器； 
>具有獨立的通排殘單元、風機、氣動蝶閥和排風管路，能快速置換艙內的過氧化氫  氣體，并防止其進入HVAC系統內； 
>進、出料為雙扉門結構，具有氣動密封、氣動鎖緊及工作狀態下的雙門互鎖功能； 
>系統對艙內的溫度、濕度、壓力可實時檢測，并儲存。

性能特點:
>≤60℃低溫滅菌過程;
>殘留物少，過氧化氫*終分解產物為水蒸汽和氧氣，沒有毒副產品，是一種環保型滅菌技術且不需要清洗;
>快速的滅菌循環過程，運行成本低，且容易驗證;
>過氧化氫氣體具有極好的物料兼容性;
>有廣譜殺菌作用，適用于真菌、細菌、病毒和芽孢的殺滅。